表面マイクロマシニングによる微小構造の疲労特性評価に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H14550087
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007550669

Material type: 図書

Author: 辻裕一, 東京電機大学 [著]

Publisher: [辻裕一]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 108枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 表面マイクロマシニングによる微小構造の疲労特性評価に関する研究
Title Transcription: ヒョウメンマイクロマシニングニヨルビショウコウゾウノヒロウトクセイヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 辻裕一, 東京電機大学 [著]
Author Heading: 辻, 裕一ツジ, ヒロカズ
東京電機大学トウキョウデンキダイガク
Publication, Distribution, etc.: [辻裕一]
Publication Date: 2002-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 108枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: マイクロマシニング / 疲労試験 / 微小材料 / 単結晶シリコン / 異方性エッチング / 破壊じん性マイクロマシニング / ヒロウシケン / ビショウザイリョウ / タンケッショウシリコン / イカタセイエッチング / ハカイジンセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550087
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550087
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007550669
http://id.ndl.go.jp/bib/000007550669
Bibliographic Record Category (NDL): 214