X線リソグラフィにおけるマスクパターン欠陥の転写特性と解像性の向上に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: X線リソグラフィにおけるマスクパターン欠陥の転写特性と解像性の向上に関する研究
• タイトルよみ: Xセン リソグラフィ ニ オケル マスク パターン ケッカン ノ テンシャ トクセイ ト カイゾウセイ ノ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 渡邊寛 [著]
• 著者標目: 渡邊, 寛 ワタナベ, ヒロシ
• 出版事項: [渡邊寛]
• 出版年月日等: 2004
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 奈良先端科学技術大学院大学
• 授与年月日: 平成16年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2004
• 報告番号: 甲第426号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-L411
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007552878; http://id.ndl.go.jp/bib/000007552878
• 整理区分コード: 213