X線リソグラフィにおけるマスクパターン欠陥の転写特性と解像性の向上に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: X線リソグラフィにおけるマスクパターン欠陥の転写特性と解像性の向上に関する研究
• Title Transcription: Xセン リソグラフィ ニ オケル マスク パターン ケッカン ノ テンシャ トクセイ ト カイゾウセイ ノ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 渡邊寛 [著]
• Author Heading: 渡邊, 寛 ワタナベ, ヒロシ
• Publication, Distribution, etc.: [渡邊寛]
• Publication Date: 2004
• Publication Date (W3CDTF): 2004
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
• Date Granted: 平成16年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2004
• Dissertation Number: 甲第426号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-L411
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007552878; http://id.ndl.go.jp/bib/000007552878
• Bibliographic Record Category (NDL): 213