Molecular dynamics simulation of the plasma-surface interaction during plasma etching processes

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Molecular dynamics simulation of the plasma-surface interaction during plasma etching processes
• 著者・編者: Hiroaki Ohta [著]
• 著者標目: 太田, 裕朗 オオタ, ヒロアキ
• 出版事項: [Hiroaki Ohta]
• 出版年月日等: 2004
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: プラズマエッチングプロセスにおけるプラズマ-表面相互作用の分子動力学的計算による研究 プラズマ エッチング プロセス ニ オケル プラズマ - ヒョウメン ソウゴ サヨウ ノ ブンシ ドウリキガクテキ ケイサン ニ ヨル ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成16年7月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2004
• 報告番号: 甲第11119号
• 学位: 博士 (エネルギー科学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2004-L916
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007553541; http://id.ndl.go.jp/bib/000007553541
• 整理区分コード: 213