Molecular dynamics simulation of the plasma-surface interaction during plasma etching processes

• Material Type: 博士論文
• Title: Molecular dynamics simulation of the plasma-surface interaction during plasma etching processes
• Author/Editor: Hiroaki Ohta [著]
• Author Heading: 太田, 裕朗 オオタ, ヒロアキ
• Publication, Distribution, etc.: [Hiroaki Ohta]
• Publication Date: 2004
• Publication Date (W3CDTF): 2004
• Extent: 1冊
• Alternative Title: プラズマエッチングプロセスにおけるプラズマ-表面相互作用の分子動力学的計算による研究 プラズマ エッチング プロセス ニ オケル プラズマ - ヒョウメン ソウゴ サヨウ ノ ブンシ ドウリキガクテキ ケイサン ニ ヨル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成16年7月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2004
• Dissertation Number: 甲第11119号
• Degree Type: 博士 (エネルギー科学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-L916
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007553541; http://id.ndl.go.jp/bib/000007553541
• Bibliographic Record Category (NDL): 213