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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコン ネツ サンカ ノ カイメンソ カテイ ニ カンスル リロンテキ ケンキュウ
- 著者・編者
- 白石賢二, 筑波大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002-20032004.5
- 出版年（W3CDTF）
- 20022003
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Theoretical studies on the basic processes of Si thermal oxydation