X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析

• 資料種別: 図書
• タイトル: X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析
• タイトルよみ: Xセン CTR サンラン ソクテイホウ ニ ヨル ハンドウタイチュウ ノ フジュンブツ ブンプ ノ ゲンシソウ レベル カイセキ
• 著者・編者: 田渕雅夫, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 田渕, 雅夫 タブチ, マサオ; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• 出版事項: [田渕雅夫]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.4
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: X線CTR散乱 / 放射光 / 不純物原子 / 薄膜多層構造 / 半導体ヘテロ構造 / 界面構造 / 原子層単位 / 相互拡散 Xセン CTR サンラン / ホウシャコウ / フジュンブツ ゲンシ / ハクマク タソウ コウゾウ / ハンドウタイ ヘテロ コウゾウ / カイメン コウゾウ / ゲンシソウ タンイ / ソウゴ カクサン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550007
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550007
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007604057; http://id.ndl.go.jp/bib/000007604057
• 整理区分コード: 214