X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析

Call No. (NDL): Y151-H14550007
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007604057

Material type: 図書

Author: 田渕雅夫, 名古屋大学 [著]

Publisher: [田渕雅夫]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析
Title Transcription: Xセン CTR サンランソクテイホウニヨルハンドウタイチュウノフジュンブツブンプノゲンシソウレベルカイセキ
Author/Editor: 田渕雅夫, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 田渕, 雅夫タブチ, マサオ
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [田渕雅夫]
Publication Date: 2002-2003
2004.4
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: X線CTR散乱 / 放射光 / 不純物原子 / 薄膜多層構造 / 半導体ヘテロ構造 / 界面構造 / 原子層単位 / 相互拡散 Xセン CTR サンラン / ホウシャコウ / フジュンブツゲンシ / ハクマクタソウコウゾウ / ハンドウタイヘテロコウゾウ / カイメンコウゾウ / ゲンシソウタンイ / ソウゴカクサン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550007
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550007
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007604057
http://id.ndl.go.jp/bib/000007604057
Bibliographic Record Category (NDL): 214