高速重イオンの電子的スパッタリングを用いた巨大クラスターイオン発生手法の確立

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高速重イオンの電子的スパッタリングを用いた巨大クラスターイオン発生手法の確立
• タイトルよみ: コウソク ジュウイオン ノ デンシテキ スパッタリング オ モチイタ キョダイ クラスター イオン ハッセイ シュホウ ノ カクリツ
• 著者・編者: 今西信嗣, 京都大学 [著]
• 著者標目: 今西, 信嗣 イマニシ, ノブツグ; 京都大学 キョウト ダイガク
• 出版事項: [今西信嗣]
• 出版年月日等: 2001-2003; 2004.4
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2003
• 数量: 67p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: スパッタリング / クラスターイオン / 重イオン照射 / 電子的スパッタリング / ナノテクノロジー / ナノスケール加工 / 放出エネルギー分布 / レーザ照射 スパッタリング / クラスターイオン / ジュウ イオン ショウシャ / デンシテキ スパッタリング / ナノテクノロジー / ナノスケール カコウ / ホウシュツ エネルギー ブンプ / レーザ ショウシャ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13558061
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13558061
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007622846; http://id.ndl.go.jp/bib/000007622846
• 整理区分コード: 214