高速重イオンの電子的スパッタリングを用いた巨大クラスターイオン発生手法の確立

Call No. (NDL): Y151-H13558061
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007622846

Material type: 図書

Author: 今西信嗣, 京都大学 [著]

Publisher: [今西信嗣]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 67p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 高速重イオンの電子的スパッタリングを用いた巨大クラスターイオン発生手法の確立
Title Transcription: コウソクジュウイオンノデンシテキスパッタリングオモチイタキョダイクラスターイオンハッセイシュホウノカクリツ
Author/Editor: 今西信嗣, 京都大学 [著]
Author Heading: 今西, 信嗣イマニシ, ノブツグ
京都大学キョウトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [今西信嗣]
Publication Date: 2001-2003
2004.4
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 67p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: スパッタリング / クラスターイオン / 重イオン照射 / 電子的スパッタリング / ナノテクノロジー / ナノスケール加工 / 放出エネルギー分布 / レーザ照射スパッタリング / クラスターイオン / ジュウイオンショウシャ / デンシテキスパッタリング / ナノテクノロジー / ナノスケールカコウ / ホウシュツエネルギーブンプ / レーザショウシャ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13558061
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13558061
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007622846
http://id.ndl.go.jp/bib/000007622846
Bibliographic Record Category (NDL): 214