低誘電率・低誘電正接を有する次世代感光性有機層間絶縁膜の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 低誘電率・低誘電正接を有する次世代感光性有機層間絶縁膜の開発
• タイトルよみ: テイユウデンリツ テイユウデン セイセツ オ ユウスル ジセダイ カンコウセイ ユウキ ソウカン ゼツエンマク ノ カイハツ
• 著者・編者: 上田充, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 上田, 充 ウエダ, ミツル ( 01040407 )典拠; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク ( 00259309 )典拠
• 出版事項: [上田充]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 176p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 感光性ポリマー / 耐熱性 / 低誘電性 / 低誘電損失 / 全脂環式感光性ポリイミド / 感光性ポリ (ナフタレン) / アルカリ現像 / 酸発生剤 カンコウセイ ポリマー / タイネツセイ / テイユウデンセイ / テイユウデン ソンシツ / ゼン シカンシキ カンコウセイ ポリイミド / カンコウセイ ポリ (ナフタレン) / アルカリ ゲンゾウ / サン ハッセイザイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14350484
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14350484
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007625112; http://id.ndl.go.jp/bib/000007625112
• 整理区分コード: 214