低誘電率・低誘電正接を有する次世代感光性有機層間絶縁膜の開発

Call No. (NDL): Y151-H14350484
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007625112

Material type: 図書

Author: 上田充, 東京工業大学 [著]

Publisher: [上田充]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 176p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 低誘電率・低誘電正接を有する次世代感光性有機層間絶縁膜の開発
Title Transcription: テイユウデンリツテイユウデンセイセツオユウスルジセダイカンコウセイユウキソウカンゼツエンマクノカイハツ
Author/Editor: 上田充, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 著者：上田, 充ウエダ, ミツル ( 01040407 )Authorities
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク ( 00259309 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [上田充]
Publication Date: 2002-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 176p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 感光性ポリマー / 耐熱性 / 低誘電性 / 低誘電損失 / 全脂環式感光性ポリイミド / 感光性ポリ (ナフタレン) / アルカリ現像 / 酸発生剤カンコウセイポリマー / タイネツセイ / テイユウデンセイ / テイユウデンソンシツ / ゼンシカンシキカンコウセイポリイミド / カンコウセイポリ (ナフタレン) / アルカリゲンゾウ / サンハッセイザイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350484
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350484
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007625112
http://id.ndl.go.jp/bib/000007625112
Bibliographic Record Category (NDL): 214