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図書
超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発
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超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発
国立国会図書館請求記号
Y151-H14205025
国立国会図書館書誌ID
000007629479
資料種別
図書
著者
後藤英和, 森勇蔵, 大阪大学 [著]
出版者
[後藤英和]
出版年
2002-2003
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
71枚
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
超純水中での高速せん断流と電気化学作用を利用した超精密洗浄システムの開発
タイトルよみ
チョウジュンスイチュウ デノ コウソク センダンリュウ ト デンキ カガク サヨウ オ リヨウシタ チョウセイミツ センジョウ システム ノ カイハツ
著者・編者
後藤英和, 森勇蔵, 大阪大学 [著]
著者標目
後藤, 英和
ゴトウ, ヒデカズ
森, 勇蔵
モリ, ユウゾウ
大阪大学
オオサカ ダイガク
出版事項
[後藤英和]
出版年月日等
2002-2003
2004.4
出版年(W3CDTF)
2002
2003
数量
71枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
超純水 / せん断流 / 洗浄 / 微粒子汚染 / シリカ / シリコンウエハ / 液晶ディスプレー / インジウム・シン・オキサイド
チョウジュンスイ / センダンリュウ / センジョウ / ビリュウシ オセン / シリカ / シリコンウエハ / エキショウ ディスプレー / インジウム ・ シン ・ オキサイド
NDLC
Y151
一般注記
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
14205025
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H14205025
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007629479
http://id.ndl.go.jp/bib/000007629479
整理区分コード
214
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