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光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発

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光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H13355006
国立国会図書館書誌ID
000007629525
資料種別
図書
著者
三好隆志, 大阪大学 [著]
出版者
[三好隆志]
出版年
2001-2003
資料形態
ページ数・大きさ等
107p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ ホウシャアツ セイギョ ナノ CMP カコウ ソウチ ノ カイハツ
著者・編者
三好隆志, 大阪大学 [著]
著者標目
三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
大阪大学 オオサカ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2001-2003
2004.3
出版年(W3CDTF)
2001
2003
数量
107p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)