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Super Impose法を用いた製造プロセスを考慮した電子デバイスの信頼性評価

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Super Impose法を用いた製造プロセスを考慮した電子デバイスの信頼性評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H14350057
国立国会図書館書誌ID
000007629535
資料種別
図書
著者
座古勝, 大阪大学 [著]
出版者
[座古勝]
出版年
2002-2003
資料形態
ページ数・大きさ等
106p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Super Imposeホウ オ モチイタ セイゾウ プロセス オ コウリョシタ デンシ デバイス ノ シンライセイ ヒョウカ
著者・編者
座古勝, 大阪大学 [著]
著者標目
座古, 勝 ザコ, マサル
大阪大学 オオサカ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2002-2003
2004.3
出版年(W3CDTF)
2002
2003
数量
106p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)