近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究
• タイトルよみ: キンセキガイコウ カンショウホウ ニ ヨル シリコン タンケッショウ ヘイメン ミラー ノ ゼッタイ ケイジョウ ソクテイホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 打越純一, 大阪大学 [著]
• 著者標目: 打越, 純一 ウチコシ, ジュンイチ; 大阪大学 オオサカ ダイガク
• 出版事項: [打越純一]
• 出版年月日等: 2001-2003; 2004.5
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2003
• 数量: 51枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 近赤外光 / 絶対形状 / 形状測定 / 平面度 / シリコンミラー / フィゾー干渉計 / 近赤外半導体レーザー / 透過参照面 キン セキガイコウ / ゼッタイ ケイジョウ / ケイジョウ ソクテイ / ヘイメンド / シリコンミラー / フィゾー カンショウケイ / キンセキガイ ハンドウタイ レーザー / トウカ サンショウメン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650119
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650119
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007630668; http://id.ndl.go.jp/bib/000007630668
• 整理区分コード: 214