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近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究

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近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究

Call No. (NDL)
Y151-H13650119
Bibliographic ID of National Diet Library
000007630668
Material type
図書
Author
打越純一, 大阪大学 [著]
Publisher
[打越純一]
Publication date
2001-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
51枚
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究
Title Transcription
キンセキガイコウ カンショウホウ ニ ヨル シリコン タンケッショウ ヘイメン ミラー ノ ゼッタイ ケイジョウ ソクテイホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
打越純一, 大阪大学 [著]
Author Heading
打越, 純一 ウチコシ, ジュンイチ
大阪大学 オオサカ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
[打越純一]
Publication Date
2001-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF)
2001
2003
Extent
51枚
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)