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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヒョウメン ブンセキ ニ オケル センタク スパッタリング ニ カンスル キソテキ ケンキュウ : スパッタサレタ ドウ ニッケル ゴウキン ヒョウメン ノ オージェ デンシ ブンコウホウ ニ ヨル カイセキ
- 著者・編者
- 佐伯登 [著]
- 著者標目
- 佐伯, 登 サエキ, ノボル
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 昭和55年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1980
- 報告番号
- 甲第2520号