博士論文

表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究 : スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析

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表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究 : スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析

Call No. (NDL)
UT51-55-I91
Bibliographic ID of National Diet Library
000007649443
Material type
博士論文
Author
佐伯登 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ヒョウメン ブンセキ ニ オケル センタク スパッタリング ニ カンスル キソテキ ケンキュウ : スパッタサレタ ドウ ニッケル ゴウキン ヒョウメン ノ オージェ デンシ ブンコウホウ ニ ヨル カイセキ
Author/Editor
佐伯登 [著]
Author Heading
佐伯, 登 サエキ, ノボル
Extent
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
昭和55年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1980
Dissertation Number
甲第2520号