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紫外レーザによるセンサデバイス用サファイヤウェハのマイクロファブリケーション

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紫外レーザによるセンサデバイス用サファイヤウェハのマイクロファブリケーション

国立国会図書館請求記号
Y151-H13555037
国立国会図書館書誌ID
000007651113
資料種別
図書
著者
堀澤秀之, 東海大学 [著]
出版者
[堀澤秀之]
出版年
2001-2003
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シガイ レーザ ニ ヨル センサ デバイスヨウ サファイヤ ウェハ ノ マイクロファブリケーション
著者・編者
堀澤秀之, 東海大学 [著]
著者標目
堀澤, 秀之 ホリサワ, ヒデユキ
東海大学 トウカイ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2001-2003
2004.3
出版年(W3CDTF)
2001
2003
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)