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紫外レーザによるセンサデバイス用サファイヤウェハのマイクロファブリケーション

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紫外レーザによるセンサデバイス用サファイヤウェハのマイクロファブリケーション

Call No. (NDL)
Y151-H13555037
Bibliographic ID of National Diet Library
000007651113
Material type
図書
Author
堀澤秀之, 東海大学 [著]
Publisher
[堀澤秀之]
Publication date
2001-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
紫外レーザによるセンサデバイス用サファイヤウェハのマイクロファブリケーション
Title Transcription
シガイ レーザ ニ ヨル センサ デバイスヨウ サファイヤ ウェハ ノ マイクロファブリケーション
Author/Editor
堀澤秀之, 東海大学 [著]
Author Heading
堀澤, 秀之 ホリサワ, ヒデユキ
東海大学 トウカイ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
[堀澤秀之]
Publication Date
2001-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF)
2001
2003
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)