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超音波計測技術に基づく半導体デバイスの残留応力・接合信頼性評価システムの構築

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超音波計測技術に基づく半導体デバイスの残留応力・接合信頼性評価システムの構築

国立国会図書館請求記号
Y151-H13650783
国立国会図書館書誌ID
000007655287
資料種別
図書
著者
日下正広, 姫路工業大学 [著]
出版者
[日下正広]
出版年
2001-2003
資料形態
ページ数・大きさ等
99p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウオンパ ケイソク ギジュツ ニ モトズク ハンドウタイ デバイス ノ ザンリュウ オウリョク セツゴウ シンライセイ ヒョウカ システム ノ コウチク
著者・編者
日下正広, 姫路工業大学 [著]
著者標目
日下, 正広 クサカ, マサヒロ
姫路工業大学 ヒメジ コウギョウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2001-2003
2004.4
出版年(W3CDTF)
2001
2003
数量
99p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)