超音波計測技術に基づく半導体デバイスの残留応力・接合信頼性評価システムの構築

Call No. (NDL): Y151-H13650783
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007655287

Material type: 図書

Author: 日下正広, 姫路工業大学 [著]

Publisher: [日下正広]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 99p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 超音波計測技術に基づく半導体デバイスの残留応力・接合信頼性評価システムの構築
Title Transcription: チョウオンパケイソクギジュツニモトズクハンドウタイデバイスノザンリュウオウリョクセツゴウシンライセイヒョウカシステムノコウチク
Author/Editor: 日下正広, 姫路工業大学 [著]
Author Heading: 日下, 正広クサカ, マサヒロ
姫路工業大学ヒメジコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [日下正広]
Publication Date: 2001-2003
2004.4
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 99p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 超音波顕微鏡 / 弾性表面波速度 / 薄膜 / 異方性材料 / 熱応力解析 / はく離強度 / エネルギー解放率 / 異方導電性接着剤チョウオンパケンビキョウ / ダンセイヒョウメンハソクド / ハクマク / イカタセイザイリョウ / ネツオウリョクカイセキ / ハクリキョウド / エネルギーカイホウリツ / イカタドウデンセイセッチャクザイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650783
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650783
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007655287
http://id.ndl.go.jp/bib/000007655287
Bibliographic Record Category (NDL): 214