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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ ビサイ タンシン オ モチイタ 100nm イカ ノ レジスト パターン ノ フチャク ギョウシュウ カイセキ
- 著者・編者
- 河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2001-20032004.5
- 出版年（W3CDTF）
- 20012003
- 数量
- 168p
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)