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原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析

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原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析

Call No. (NDL)
Y151-H13650373
Bibliographic ID of National Diet Library
000007655446
Material type
図書
Author
河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
Publisher
[河合晃]
Publication date
2001-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
168p
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ ビサイ タンシン オ モチイタ 100nm イカ ノ レジスト パターン ノ フチャク ギョウシュウ カイセキ
Author/Editor
河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
Author Heading
河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
長岡技術科学大学 ナガオカ ギジュツ カガク ダイガク ( 00301466 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2001-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF)
2001
2003
Extent
168p
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)