原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析

Call No. (NDL): Y151-H13650373
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007655446

Material type: 図書

Author: 河合晃, 長岡技術科学大学 [著]

Publisher: [河合晃]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 168p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析
Title Transcription: ゲンシカンリョクケンビキョウノビサイタンシンオモチイタ 100nm イカノレジストパターンノフチャクギョウシュウカイセキ
Author/Editor: 河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
Author Heading: 河合, 晃カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities
長岡技術科学大学ナガオカギジュツカガクダイガク ( 00301466 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [河合晃]
Publication Date: 2001-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 168p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 付着力 / 半導体集積回路 / 原子間力顕微鏡 / レジスト / 表面エネルギー / 有限要素法解析 / リソグラフィー / 高分子集合体フチャクリョク / ハンドウタイシュウセキカイロ / ゲンシカンリョクケンビキョウ / レジスト / ヒョウメンエネルギー / ユウゲンヨウソホウカイセキ / リソグラフィー / コウブンシシュウゴウタイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650373
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650373
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007655446
http://id.ndl.go.jp/bib/000007655446
Bibliographic Record Category (NDL): 214