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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ ビサイ タンシン オ モチイタ 100nm イカ ノ レジスト パターン ノ フチャク ギョウシュウ カイセキ
- Author/Editor
- 河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
- Author Heading
- 河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )Authorities長岡技術科学大学 ナガオカ ギジュツ カガク ダイガク ( 00301466 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2001-20032004.5
- Publication Date (W3CDTF)
- 20012003
- Extent
- 168p
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)