SOI層の熱凝集現象を利用したSiアイランドの選択形成と光学素子応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: SOI層の熱凝集現象を利用したSiアイランドの選択形成と光学素子応用
• タイトルよみ: SOIソウ ノ ネツ ギョウシュウ ゲンショウ オ リヨウシタ Si アイランド ノ センタク ケイセイ ト コウガク ソシ オウヨウ
• 著者・編者: 石川靖彦, 静岡大学 [著]
• 著者標目: 石川, 靖彦 イシカワ, ヤスヒコ; 静岡大学 シズオカ ダイガク
• 出版事項: [石川靖彦]
• 出版年月日等: 2001-2003; 2004.3
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2003
• 数量: 92p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: SOI / 熱凝集 / Siアイランド / 細線 / パターニング / 光導波路 / 選択形成 / 光学素子 SOI / ネツ ギョウシュウ / Si アイランド / サイセン / パターニング / ヒカリドウハロ / センタク ケイセイ / コウガク ソシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650011
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650011
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007655638; http://id.ndl.go.jp/bib/000007655638
• 整理区分コード: 214