SOI層の熱凝集現象を利用したSiアイランドの選択形成と光学素子応用

• Material Type: 図書
• Title: SOI層の熱凝集現象を利用したSiアイランドの選択形成と光学素子応用
• Title Transcription: SOIソウ ノ ネツ ギョウシュウ ゲンショウ オ リヨウシタ Si アイランド ノ センタク ケイセイ ト コウガク ソシ オウヨウ
• Author/Editor: 石川靖彦, 静岡大学 [著]
• Author Heading: 石川, 靖彦 イシカワ, ヤスヒコ; 静岡大学 シズオカ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [石川靖彦]
• Publication Date: 2001-2003; 2004.3
• Publication Date (W3CDTF): 2001; 2003
• Extent: 92p
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: SOI / 熱凝集 / Siアイランド / 細線 / パターニング / 光導波路 / 選択形成 / 光学素子 SOI / ネツ ギョウシュウ / Si アイランド / サイセン / パターニング / ヒカリドウハロ / センタク ケイセイ / コウガク ソシ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650011
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13650011
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007655638; http://id.ndl.go.jp/bib/000007655638
• Bibliographic Record Category (NDL): 214