有機珪素化合物を用いた炭化珪素エピタキシャル成長における表面反応過程

• 資料種別: 図書
• タイトル: 有機珪素化合物を用いた炭化珪素エピタキシャル成長における表面反応過程
• タイトルよみ: ユウキ ケイソ カゴウブツ オ モチイタ タンカ ケイソ エピタキシャル セイチョウ ニ オケル ヒョウメン ハンノウ カテイ
• 著者・編者: 安井寛治, 長岡技術科学大学 [著]
• 著者標目: 安井, 寛治 ヤスイ, カンジ; 長岡技術科学大学 ナガオカ ギジュツ カガク ダイガク
• 出版事項: [安井寛治]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.4
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 炭素珪素 / エピタキシャル成長 / 表面反応 / 質量分析 / 表面構造 タンソ ケイソ / エピタキシャル セイチョウ / ヒョウメン ハンノウ / シツリョウ ブンセキ / ヒョウメン コウゾウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550023
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550023
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007673306; http://id.ndl.go.jp/bib/000007673306
• 整理区分コード: 214