有機珪素化合物を用いた炭化珪素エピタキシャル成長における表面反応過程

• Material Type: 図書
• Title: 有機珪素化合物を用いた炭化珪素エピタキシャル成長における表面反応過程
• Title Transcription: ユウキ ケイソ カゴウブツ オ モチイタ タンカ ケイソ エピタキシャル セイチョウ ニ オケル ヒョウメン ハンノウ カテイ
• Author/Editor: 安井寛治, 長岡技術科学大学 [著]
• Author Heading: 安井, 寛治 ヤスイ, カンジ; 長岡技術科学大学 ナガオカ ギジュツ カガク ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [安井寛治]
• Publication Date: 2002-2003; 2004.4
• Publication Date (W3CDTF): 2002; 2003
• Extent: 1冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 炭素珪素 / エピタキシャル成長 / 表面反応 / 質量分析 / 表面構造 タンソ ケイソ / エピタキシャル セイチョウ / ヒョウメン ハンノウ / シツリョウ ブンセキ / ヒョウメン コウゾウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550023
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H14550023
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007673306; http://id.ndl.go.jp/bib/000007673306
• Bibliographic Record Category (NDL): 214