高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用
• タイトルよみ: コウアツリョク コウミツド マイクロハ プラズマゲン ノ カイハツ ト ソノ ダイメンセキ ハクマク プロセス エノ オウヨウ
• 著者・編者: 永津雅章, 静岡大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 永津, 雅章 ナガツ, マサアキ ( 01196260 )典拠; 静岡大学 シズオカ ダイガク ( 00302677 )典拠
• 出版事項: [永津雅章]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.4
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 80p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: マイクロ波プラズマ / 大面積プラズマCVD / カーボン系薄膜 / ダイヤモンド薄膜 / カーボンナノチューブ / 時間差分法 / 電磁界解析 マイクロハ プラズマ / ダイ メンセキ プラズマ CVD / カーボンケイ ハクマク / ダイヤモンド ハクマク / カーボンナノチューブ / ジカン サブンホウ / デンジカイ カイセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14580516
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14580516
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007674942; http://id.ndl.go.jp/bib/000007674942
• 整理区分コード: 214