高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用

Call No. (NDL): Y151-H14580516
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007674942

Material type: 図書

Author: 永津雅章, 静岡大学 [著]

Publisher: [永津雅章]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 80p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用
Title Transcription: コウアツリョクコウミツドマイクロハプラズマゲンノカイハツトソノダイメンセキハクマクプロセスエノオウヨウ
Author/Editor: 永津雅章, 静岡大学 [著]
Author Heading: 著者：永津, 雅章ナガツ, マサアキ ( 01196260 )Authorities
静岡大学シズオカダイガク ( 00302677 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [永津雅章]
Publication Date: 2002-2003
2004.4
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 80p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: マイクロ波プラズマ / 大面積プラズマCVD / カーボン系薄膜 / ダイヤモンド薄膜 / カーボンナノチューブ / 時間差分法 / 電磁界解析マイクロハプラズマ / ダイメンセキプラズマ CVD / カーボンケイハクマク / ダイヤモンドハクマク / カーボンナノチューブ / ジカンサブンホウ / デンジカイカイセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14580516
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14580516
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007674942
http://id.ndl.go.jp/bib/000007674942
Bibliographic Record Category (NDL): 214