炭化シリコンへイオン注入された窒素およびリンの置換格子位置の同定と電気的活性化

• 資料種別: 図書
• タイトル: 炭化シリコンへイオン注入された窒素およびリンの置換格子位置の同定と電気的活性化
• タイトルよみ: タンカ シリコン エ イオン チュウニュウサレタ チッソ オヨビ リン ノ チカン コウシ イチ ノ ドウテイ ト デンキテキ カッセイカ
• 著者・編者: 佐藤政孝, 法政大学 [著]
• 著者標目: 佐藤, 政孝 サトウ, マサタカ; 法政大学 ホウセイ ダイガク
• 出版事項: [佐藤政孝]
• 出版年月日等: 2001-2002; 2004.11
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2002
• 数量: 46枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 炭化シリコン / イオン注入 / リン不純物 / 窒素不純物 / 電気特性 / 置換格子位置 タンカ シリコン / イオン チュウニュウ / リン フジュンブツ / チッソ フジュンブツ / デンキ トクセイ / チカン ゴウシ イチ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13650019
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13650019
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007675296; http://id.ndl.go.jp/bib/000007675296
• 整理区分コード: 214