炭化シリコンへイオン注入された窒素およびリンの置換格子位置の同定と電気的活性化

Call No. (NDL): Y151-H13650019
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007675296

Material type: 図書

Author: 佐藤政孝, 法政大学 [著]

Publisher: [佐藤政孝]

Publication date: 2001-2002

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 46枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 炭化シリコンへイオン注入された窒素およびリンの置換格子位置の同定と電気的活性化
Title Transcription: タンカシリコンエイオンチュウニュウサレタチッソオヨビリンノチカンコウシイチノドウテイトデンキテキカッセイカ
Author/Editor: 佐藤政孝, 法政大学 [著]
Author Heading: 佐藤, 政孝サトウ, マサタカ
法政大学ホウセイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [佐藤政孝]
Publication Date: 2001-2002
2004.11
Publication Date (W3CDTF): 2001
2002
Extent: 46枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 炭化シリコン / イオン注入 / リン不純物 / 窒素不純物 / 電気特性 / 置換格子位置タンカシリコン / イオンチュウニュウ / リンフジュンブツ / チッソフジュンブツ / デンキトクセイ / チカンゴウシイチ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650019
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650019
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007675296
http://id.ndl.go.jp/bib/000007675296
Bibliographic Record Category (NDL): 214