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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- テイオン イオン チュウニュウ ニ ヨッテ カゴウブツ ハンドウタイ ヒョウメン ニ ケイセイサレル セルジョウ コウゾウ ノ セイチョウ キコウ ノ カイメイ ト コウゾウ セイギョ
- 著者・編者
- 新田紀子 [著]
- 著者標目
- 新田, 紀子 ニッタ, ノリコ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2004
- 出版年（W3CDTF）
- 2004
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Cellular defect structure on the surface of compound semiconductor ion implanted at low temperature : formation mechanism and application to nano-fabrication