低温イオン注入によって化合物半導体表面に形成されるセル状構造の成長機構の解明と構造制御

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Material Type: 博士論文
Title: 低温イオン注入によって化合物半導体表面に形成されるセル状構造の成長機構の解明と構造制御
Title Transcription: テイオンイオンチュウニュウニヨッテカゴウブツハンドウタイヒョウメンニケイセイサレルセルジョウコウゾウノセイチョウキコウノカイメイトコウゾウセイギョ
Author/Editor: 新田紀子 [著]
Author Heading: 新田, 紀子ニッタ, ノリコ
Publication, Distribution, etc.: [新田紀子]
Publication Date: 2004
Publication Date (W3CDTF): 2004
Extent: 1冊
Alternative Title: Cellular defect structure on the surface of compound semiconductor ion implanted at low temperature : formation mechanism and application to nano-fabrication
Degree grantor/type: 高知工科大学
Date Granted: 平成16年3月22日
Date Granted (W3CDTF): 2004
Dissertation Number: 甲第27号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2005-B458
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007769278
http://id.ndl.go.jp/bib/000007769278
Bibliographic Record Category (NDL): 213