半導体基板への低エネルギー電子線照射による不純物添加

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体基板への低エネルギー電子線照射による不純物添加
• タイトルよみ: ハンドウタイ キバン エノ テイエネルギー デンシセン ショウシャ ニ ヨル フジュンブツ テンカ
• 著者・編者: 藤本博, 大同工業大学 [著]
• 著者標目: 藤本, 博 フジモト, ヒロシ; 大同工業大学 ダイドウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [藤本博]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.6
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 46p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: electron beam doping / B doping / P doping / pn junction electron beam doping / B doping / P doping / pn junction
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550338
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550338
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007818239; http://id.ndl.go.jp/bib/000007818239
• 整理区分コード: 214