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半導体基板への低エネルギー電子線照射による不純物添加

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半導体基板への低エネルギー電子線照射による不純物添加

国立国会図書館請求記号
Y151-H14550338
国立国会図書館書誌ID
000007818239
資料種別
図書
著者
藤本博, 大同工業大学 [著]
出版者
[藤本博]
出版年
2002-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
46p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンドウタイ キバン エノ テイエネルギー デンシセン ショウシャ ニ ヨル フジュンブツ テンカ
著者・編者
藤本博, 大同工業大学 [著]
著者標目
藤本, 博 フジモト, ヒロシ
大同工業大学 ダイドウ コウギョウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2002-2004
2005.6
出版年(W3CDTF)
2002
2004
数量
46p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)