半導体基板への低エネルギー電子線照射による不純物添加

• Material Type: 図書
• Title: 半導体基板への低エネルギー電子線照射による不純物添加
• Title Transcription: ハンドウタイ キバン エノ テイエネルギー デンシセン ショウシャ ニ ヨル フジュンブツ テンカ
• Author/Editor: 藤本博, 大同工業大学 [著]
• Author Heading: 藤本, 博 フジモト, ヒロシ; 大同工業大学 ダイドウ コウギョウ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [藤本博]
• Publication Date: 2002-2004; 2005.6
• Publication Date (W3CDTF): 2002; 2004
• Extent: 46p
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: electron beam doping / B doping / P doping / pn junction electron beam doping / B doping / P doping / pn junction
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550338
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H14550338
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007818239; http://id.ndl.go.jp/bib/000007818239
• Bibliographic Record Category (NDL): 214