Studies on development of microwave excited non-equilibrium atmospheric pressure plasma source and its application to material processing

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on development of microwave excited non-equilibrium atmospheric pressure plasma source and its application to material processing
• 著者・編者: Koji Yamakawa [著]
• 著者標目: 山川, 晃司 ヤマカワ, コウジ
• 出版事項: [Koji Yamakawa]
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマ源の開発と材料プロセスへの応用に関する研究 マイクロハ レイキ ヒヘイコウ タイキアツ プラズマゲン ノ カイハツ ト ザイリョウ プロセス エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成17年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2005
• 報告番号: 甲第6671号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2005-D866
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007826703; http://id.ndl.go.jp/bib/000007826703
• 整理区分コード: 213