Investigation on fracture behaviors of single crystal silicon films

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Investigation on fracture behaviors of single crystal silicon films
• 著者・編者: Xueping Li [著]
• 著者標目: 李, 雪萍 リ, セツヘイ
• 出版事項: [Xueping Li]
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 単結晶シリコン薄膜の破壊挙動に関する研究 タンケッショウ シリコン ハクマク ノ ハカイ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成17年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2005
• 報告番号: 甲第6675号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Li, Xueping
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2005-D870
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007826870; http://id.ndl.go.jp/bib/000007826870
• 整理区分コード: 213