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図書
マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
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マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
国立国会図書館請求記号
Y151-H14550305
国立国会図書館書誌ID
000007849628
資料種別
図書
著者
齋藤洋司, 成蹊大学 [著]
出版者
[齋藤洋司]
出版年
2002-2004
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
46p
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
タイトルよみ
マイクロシステム サクセイ ニ オケル プラズマレス ドライ エッチング プロセス ノ ケンキュウ
著者・編者
齋藤洋司, 成蹊大学 [著]
著者標目
齋藤, 洋司
サイトウ, ヨウジ (
01084261
)
典拠
成蹊大学
セイケイ ダイガク (
00702534
)
典拠
出版事項
[齋藤洋司]
出版年月日等
2002-2004
2005.5
出版年(W3CDTF)
2002
2004
数量
46p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
eng
件名標目
三フッ化塩素 / マイクロマシニング / シリコン / 太陽電池 / 赤外線センサ / バイオセンサ / 流路
サン フッカ エンソ / マイクロマシニング / シリコン / タイヨウ デンチ / セキガイセン センサ / バイオセンサ / リュウロ
NDLC
Y151
一般注記
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
14550305
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H14550305
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007849628
http://id.ndl.go.jp/bib/000007849628
整理区分コード
214
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