マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
• タイトルよみ: マイクロシステム サクセイ ニ オケル プラズマレス ドライ エッチング プロセス ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 齋藤洋司, 成蹊大学 [著]
• 著者標目: 齋藤, 洋司 サイトウ, ヨウジ ( 01084261 )典拠; 成蹊大学 セイケイ ダイガク ( 00702534 )典拠
• 出版事項: [齋藤洋司]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.5
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 46p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 三フッ化塩素 / マイクロマシニング / シリコン / 太陽電池 / 赤外線センサ / バイオセンサ / 流路 サン フッカ エンソ / マイクロマシニング / シリコン / タイヨウ デンチ / セキガイセン センサ / バイオセンサ / リュウロ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550305
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550305
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007849628; http://id.ndl.go.jp/bib/000007849628
• 整理区分コード: 214