ヘルプ
ヘルプ
図書

マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究

図書を表すアイコン

マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H14550305
国立国会図書館書誌ID
000007849628
資料種別
図書
著者
齋藤洋司, 成蹊大学 [著]
出版者
[齋藤洋司]
出版年
2002-2004
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
46p
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書店で探す

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別
図書
タイトル
マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
タイトルよみ
マイクロシステム サクセイ ニ オケル プラズマレス ドライ エッチング プロセス ノ ケンキュウ
著者・編者
齋藤洋司, 成蹊大学 [著]
著者標目
齋藤, 洋司 サイトウ, ヨウジ ( 01084261 )典拠
成蹊大学 セイケイ ダイガク ( 00702534 )典拠
出版事項
[齋藤洋司]
出版年月日等
2002-2004
2005.5
出版年（W3CDTF）
2002
2004
数量
46p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)