マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究

Call No. (NDL): Y151-H14550305
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007849628

Material type: 図書

Author: 齋藤洋司, 成蹊大学 [著]

Publisher: [齋藤洋司]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 46p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
Title Transcription: マイクロシステムサクセイニオケルプラズマレスドライエッチングプロセスノケンキュウ
Author/Editor: 齋藤洋司, 成蹊大学 [著]
Author Heading: 齋藤, 洋司サイトウ, ヨウジ ( 01084261 )Authorities
成蹊大学セイケイダイガク ( 00702534 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [齋藤洋司]
Publication Date: 2002-2004
2005.5
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 46p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 三フッ化塩素 / マイクロマシニング / シリコン / 太陽電池 / 赤外線センサ / バイオセンサ / 流路サンフッカエンソ / マイクロマシニング / シリコン / タイヨウデンチ / セキガイセンセンサ / バイオセンサ / リュウロ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550305
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550305
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007849628
http://id.ndl.go.jp/bib/000007849628
Bibliographic Record Category (NDL): 214