マイクロ波CVD法によるn形導電性ダイヤモンド系薄膜の形成とデバイスヘの応用

国立国会図書館請求記号: Y151-H15560282
国立国会図書館書誌ID: 000007857542

資料種別: 図書

著者: 土肥稔, 静岡理工科大学 [著]

出版者: [土肥稔]

出版年: 2003-2004

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 17枚

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
タイトル: マイクロ波CVD法によるn形導電性ダイヤモンド系薄膜の形成とデバイスヘの応用
タイトルよみ: マイクロハ CVDホウニヨル nケイドウデンセイダイヤモンドケイハクマクノケイセイトデバイスエノオウヨウ
著者・編者: 土肥稔, 静岡理工科大学 [著]
著者標目: 土肥, 稔ドヒ, ミノル
静岡理工科大学シズオカリコウカダイガク
出版事項: [土肥稔]
出版年月日等: 2003-2004
2005.4
出版年（W3CDTF）: 2003
2004
数量: 17枚
並列タイトル等: Preparation of n-type conductive diamond-like carbon films by microwave CVD and application for devices
その他のタイトル: 研究種目基盤研究(C)
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: ダイヤモンド / 薄膜 / マイクロ波CVD / 電界放出 / FEA / 真空マイクロ素子 / イメージセンサ / DLC ダイヤモンド / ハクマク / マイクロハ CVD / デンカイホウシュツ / FEA / シンクウマイクロソシ / イメージセンサ / DLC
NDLC: Y151
一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 15560282
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H15560282
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000007857542
http://id.ndl.go.jp/bib/000007857542
整理区分コード: 214