マイクロ波CVD法によるn形導電性ダイヤモンド系薄膜の形成とデバイスヘの応用

Call No. (NDL): Y151-H15560282
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007857542

Material type: 図書

Author: 土肥稔, 静岡理工科大学 [著]

Publisher: [土肥稔]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 17枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: マイクロ波CVD法によるn形導電性ダイヤモンド系薄膜の形成とデバイスヘの応用
Title Transcription: マイクロハ CVDホウニヨル nケイドウデンセイダイヤモンドケイハクマクノケイセイトデバイスエノオウヨウ
Author/Editor: 土肥稔, 静岡理工科大学 [著]
Author Heading: 土肥, 稔ドヒ, ミノル
静岡理工科大学シズオカリコウカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [土肥稔]
Publication Date: 2003-2004
2005.4
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 17枚
Alternative Title: Preparation of n-type conductive diamond-like carbon films by microwave CVD and application for devices
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ダイヤモンド / 薄膜 / マイクロ波CVD / 電界放出 / FEA / 真空マイクロ素子 / イメージセンサ / DLC ダイヤモンド / ハクマク / マイクロハ CVD / デンカイホウシュツ / FEA / シンクウマイクロソシ / イメージセンサ / DLC
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560282
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560282
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007857542
http://id.ndl.go.jp/bib/000007857542
Bibliographic Record Category (NDL): 214