単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化

• 資料種別: 図書
• タイトル: 単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化
• タイトルよみ: タンブンシマク リソグラフィ ニ ヨル ブンシ ソシキタイ ト ハンドウタイ カイロ ノ ユウゴウカ
• 著者・編者: 杉村博之, 京都大学, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 杉村, 博之 スギムラ, ヒロユキ; 京都大学 キョウト ダイガク; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• 出版事項: [杉村博之]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 自己組織化単分子膜 / 有機シラン / 光リソグラフィ / レーザーリソグラフィ / ナノリソグラフィ / 原子間力顕微鏡 ジコ ソシキカタンブンシマク / ユウキ シラン / ヒカリ リソグラフィ / レーザーリソグラフィ / ナノリソグラフィ / ゲンシ カンリョク ケンビキョウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14205107
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14205107
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007859689; http://id.ndl.go.jp/bib/000007859689
• 整理区分コード: 214