単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化

Call No. (NDL): Y151-H14205107
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007859689

Material type: 図書

Author: 杉村博之, 京都大学, 名古屋大学 [著]

Publisher: [杉村博之]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化
Title Transcription: タンブンシマクリソグラフィニヨルブンシソシキタイトハンドウタイカイロノユウゴウカ
Author/Editor: 杉村博之, 京都大学, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 杉村, 博之スギムラ, ヒロユキ
京都大学キョウトダイガク
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [杉村博之]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 自己組織化単分子膜 / 有機シラン / 光リソグラフィ / レーザーリソグラフィ / ナノリソグラフィ / 原子間力顕微鏡ジコソシキカタンブンシマク / ユウキシラン / ヒカリリソグラフィ / レーザーリソグラフィ / ナノリソグラフィ / ゲンシカンリョクケンビキョウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14205107
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14205107
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007859689
http://id.ndl.go.jp/bib/000007859689
Bibliographic Record Category (NDL): 214