機能創出型積層薄膜被覆材料の創成とその微視構造を考慮した健全性評価手法の確立

• 資料種別: 図書
• タイトル: 機能創出型積層薄膜被覆材料の創成とその微視構造を考慮した健全性評価手法の確立
• タイトルよみ: キノウ ソウシュツガタ セキソウ ハクマク ヒフク ザイリョウ ノ ソウセイ ト ソノ ビシ コウゾウ オ コウリョシタ ケンゼンセイ ヒョウカ シュホウ ノ カクリツ
• 著者・編者: 星出敏彦, 京都大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 星出, 敏彦, 1954- ホシデ, トシヒコ, 1954- ( 00695343 )典拠; 京都大学 キョウト ダイガク ( 00289990 )典拠
• 出版事項: [星出敏彦]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.5
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 58p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 機能性材料 / 薄膜積層材料 / 機械的特性 / スパッタリング / 健全性評価 / 微視構造 / 表面性状 / セラミックス キノウセイ ザイリョウ / ハクマク セキソウ ザイリョウ / キカイテキ トクセイ / スパッタリング / ケンゼンセイ ヒョウカ / ビシ コウゾウ / ヒョウメン セイジョウ / セラミックス
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560070
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560070
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007865562; http://id.ndl.go.jp/bib/000007865562
• 整理区分コード: 214