機能創出型積層薄膜被覆材料の創成とその微視構造を考慮した健全性評価手法の確立

Call No. (NDL): Y151-H15560070
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007865562

Material type: 図書

Author: 星出敏彦, 京都大学 [著]

Publisher: [星出敏彦]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 58p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 機能創出型積層薄膜被覆材料の創成とその微視構造を考慮した健全性評価手法の確立
Title Transcription: キノウソウシュツガタセキソウハクマクヒフクザイリョウノソウセイトソノビシコウゾウオコウリョシタケンゼンセイヒョウカシュホウノカクリツ
Author/Editor: 星出敏彦, 京都大学 [著]
Author Heading: 著者：星出, 敏彦, 1954- ホシデ, トシヒコ, 1954- ( 00695343 )Authorities
京都大学キョウトダイガク ( 00289990 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [星出敏彦]
Publication Date: 2003-2004
2005.5
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 58p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 機能性材料 / 薄膜積層材料 / 機械的特性 / スパッタリング / 健全性評価 / 微視構造 / 表面性状 / セラミックスキノウセイザイリョウ / ハクマクセキソウザイリョウ / キカイテキトクセイ / スパッタリング / ケンゼンセイヒョウカ / ビシコウゾウ / ヒョウメンセイジョウ / セラミックス
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560070
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560070
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007865562
http://id.ndl.go.jp/bib/000007865562
Bibliographic Record Category (NDL): 214