光学的MEMS評価システムの構築と問題点の改善

• 資料種別: 図書
• タイトル: 光学的MEMS評価システムの構築と問題点の改善
• タイトルよみ: コウガクテキ MEMS ヒョウカ システム ノ コウチク ト モンダイテン ノ カイゼン
• 著者・編者: 新井泰彦, 関西大学 [著]
• 著者標目: 新井, 泰彦 アライ, ヤスヒコ; 関西大学 カンサイ ダイガク
• 出版事項: [新井泰彦]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.4
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 89p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 干渉計測 / MEMS / マイクロカンチレバー / Speckle Interferometry / 縞解析法 カンショウ ケイソク / MEMS / マイクロカンチレバー / Speckle Interferometry / シマ カイセキホウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14550248
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14550248
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007888937; http://id.ndl.go.jp/bib/000007888937
• 整理区分コード: 214