光学的MEMS評価システムの構築と問題点の改善

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Material Type: 図書
Title: 光学的MEMS評価システムの構築と問題点の改善
Title Transcription: コウガクテキ MEMS ヒョウカシステムノコウチクトモンダイテンノカイゼン
Author/Editor: 新井泰彦, 関西大学 [著]
Author Heading: 新井, 泰彦アライ, ヤスヒコ
関西大学カンサイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [新井泰彦]
Publication Date: 2002-2004
2005.4
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 89p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 干渉計測 / MEMS / マイクロカンチレバー / Speckle Interferometry / 縞解析法カンショウケイソク / MEMS / マイクロカンチレバー / Speckle Interferometry / シマカイセキホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550248
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550248
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007888937
http://id.ndl.go.jp/bib/000007888937
Bibliographic Record Category (NDL): 214