Optimization of a DC-RF hybrid plasma flow system for particle processing

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Optimization of a DC-RF hybrid plasma flow system for particle processing
• 著者・編者: Kotaro Kawajiri [著]
• 著者標目: 河尻, 耕太郎 カワジリ, コウタロウ
• 出版事項: [Kotaro Kawajiri]
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 微粒子プロセス用DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムの最適化 ビリュウシ プロセスヨウ DC-RF ハイブリッド プラズマ リュウドウ システム ノ サイテキカ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成17年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2005
• 報告番号: 甲第10231号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2005-G382
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007894525; http://id.ndl.go.jp/bib/000007894525
• 整理区分コード: 213